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平板显示
TFT 是Thin Film Transistor的简称,一般是指的是薄膜液晶显示器,而实际上是指薄膜晶体管(柜形)——能够主动控制屏幕上的每个独立的象素, 就是是所谓的主动矩阵TFT(active matrix TFT)。

TFT技术是二十世纪九十年代发展起来的,采用新材料和新工艺的大规模半导体全集成电路制造技术,是液晶(LC)、无机和有机薄膜电致发光(EL和OEL)平板显示器的基础。TFT是在玻璃或塑料基板等非单晶片上(当然也可以在晶片上)通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必需的各种膜,通过对膜的加工制作大规模半导体集成电路(LSIC)。采用非单晶基板可以大幅度地降低成本,是传统大规模集成电路向大面积、多功能、低成本方向的延伸。在大面积玻璃或塑料基板上制造控制像元(LC或OLED)开关性能的TFT比在硅片上制造大规模IC的技术难度更大。对生产环境的要求(净化度为100级),对原材料纯度的要求(电子特气的纯度为99.999985%),对生产设备和生产技术的要求都超过半导体大规模集成,是现代大生产的顶尖技术.TFT-LCD(彩色薄膜液晶显示器)主要用于计算机、视频终端、通信和仪器仪表等行业.
海思科在平板显示镀膜工业领域为广大客户提供以下靶材产品:


品名

规格

纯度

密度 

g/cm3

熔点

工艺

Al靶材

根据顾客的要求定制平面、旋转靶材。

5N5

2.702

660

挤压

Cu靶材

3N5

8.95

1082.5

熔炼

Mo靶材

3N5

10.22

2610

烧结,挤压

NbOx靶材

4N

4.55

 

 

Si靶材

5N

2.33

1420

热喷涂

SiO2靶材

4N5

2.202

1713

熔炼

Al2O3靶材

4N

 

 

烧结

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